為什么半導(dǎo)體加工生產(chǎn)中會(huì)應(yīng)用到超純水?
我們都知道，半導(dǎo)體在加工生產(chǎn)的過程中會(huì)需要一定量的超純水，對(duì)于其品質(zhì)的要求也是極高的。那什么是超純水呢?超純水是指一種電阻率達(dá)到18 MΩ*cm的一種水，這類水幾乎沒有什么雜質(zhì)，不含有任何細(xì)菌、病毒等有機(jī)物，完全可用在半導(dǎo)體領(lǐng)域。這樣的超純水普通工藝基本很難制取出來，并且對(duì)于超純水制取的標(biāo)準(zhǔn)也是極其嚴(yán)格的。
對(duì)比傳統(tǒng)超純水生產(chǎn)工藝，現(xiàn)如今應(yīng)用的超純水設(shè)備多是采用膜技術(shù)，再應(yīng)用反滲透+EDI系統(tǒng)+拋光混床相結(jié)合的工藝來制取超純水，具有運(yùn)行成本低，運(yùn)行可靠的優(yōu)點(diǎn)，出水水質(zhì)符合國(guó)家電子級(jí)超純水標(biāo)準(zhǔn)GBT11446.1-2013EW-Ⅰ標(biāo)準(zhǔn)。
超純水設(shè)備引人注目的優(yōu)點(diǎn)：
1、有效降低水質(zhì)的離子含量
EDI是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結(jié)合的純水制造技術(shù)，無需酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式。EDI無需再生化學(xué)品的再生，運(yùn)行成本低，EDI系統(tǒng)的自動(dòng)化程度很高，連續(xù)工作，出水水質(zhì)好且穩(wěn)定，出水電阻率≥15MΩ·CM。
2、高品質(zhì)高回收率
設(shè)備采用曲線微導(dǎo)力技術(shù)，應(yīng)用超純水膜元件，在拋光段采用陶氏進(jìn)口拋光樹脂以及自主研發(fā)的除硼專用樹脂，在保證系統(tǒng)高回收率的同時(shí)，有效提高系統(tǒng)的產(chǎn)水水質(zhì)。
3、自動(dòng)化程度高、運(yùn)行費(fèi)用低
自動(dòng)化程度高，遇故障立即自停，具有自動(dòng)保護(hù)功能，且能耗低、水利用率高、運(yùn)行成本低。
超純水設(shè)備因其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)比較緊湊，占地面積小，可以為企業(yè)節(jié)省大量的空間得到了許多半導(dǎo)體行業(yè)的歡迎?？蓮V泛運(yùn)用于電子芯片、集成電路及封裝、光伏、晶圓、科研、航空航天、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
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編輯：虞美人 技術(shù)：米
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